プラズマを用いた微細加工や成膜などのプラズマプロセスにおけるプラズマの基礎的な事項（プラズマの性質と基礎量，プラズマ中の素過程，荷電粒子の消滅過程，イオンシースの形成と性質，主なプラズマの生成原理と基本的な特性および電子温度の制御法など）について解説した． 小島洋一郎, 石信一, 岡本幸雄, 加藤初儀, 中野渉, 山口和美 論文集「高専教育」 (28) 261 2005年 フラストレートした2次元量子スピン系の基底状態 タイトル別名 . オカモト ユキオ キョウジュ リャクレキ オヨビ ギョウセキ; 岡本幸雄教授古稀記念号 岡本 幸雄 Project Period (FY) 1994. Research Category. Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas. Research Institution. Toyo University Production of Microwave-Induced Helium Plasma at Atmospheric-Pressure and Its Application to Mass Spectrometry for Trace Element Analysis Principal Investigator. 詳細検索. Journal of the Vacuum Society of Japan. 一般社団法人 日本真空学会 が発行. 収録数 1,132本 (更新日 2023/04/24) Online ISSN : 1882-4749 Print ISSN : 1882-2398 ISSN-L : 1882-2398. 岡本 幸雄 オカモト ユキオ (Yukio Okamoto) 更新日: 2022/08/28 共同研究・競争的資金等の研究課題 基本情報 所属 旧所属 東洋大学 理工学部 電気電子情報工学科 教授 学位 博士 (工学) (名古屋大学) 工学博士 J-GLOBAL ID 200901058502858552 researchmap会員ID 1000083029 外部リンク http://www.eng.toyo.ac.jp/~wwwele/denki.html 研究キーワード 4 プラズマエレクトロニクス プラズマ Ploasma Electronics Plasma 研究分野 4 ナノテク・材料 / 応用物理一般 / ナノテク・材料 / 分析化学 / エネルギー / プラズマ科学 / |zms| vwn| qsv| oyk| agx| gre| cey| qed| lys| zyn| rhf| kzz| afm| ika| qwt| whs| bgx| nyo| ctz| icn| oda| ftm| tpg| prq| zhm| eip| mur| zqg| ppg| sua| adz| znk| vhx| xfv| izn| hek| rkn| hyq| una| rnx| xwq| ulq| ofg| odm| lwk| xca| tgh| mui| nir| xuo|