点滴のようなごく微量で流れる液体の流量を正確に測定したいというニーズは、産業界に広く存在しています。 具体的には、リチウムイオンバッテリーの製造工程における電解液の注入、半導体製造におけるフォトレジスト液の塗布、生化学検査などにおける試薬の混合や希釈、特殊な液剤の噴霧、洗浄薬液の混合、といった用途が挙げられます。 市場には様々な計測方式（コリオリ式、超音波式、熱式など）の「液体流量計」が実用化されていますが、計測可能な流量範囲、精度、温度特性、振動の影響、サイズ、使用可能液種など、それぞれに一長一短があることが知られています。 なかでも数十㎖/min程度 [*1] の流量範囲は技術的に計測が難しいこともあり、実はこれまで市場ニーズを満足させる商品がほとんどありませんでした。 分析装置では微小流量の制御が求められる事がありますが、一般的なマスフローコントローラの最小f.s.は5sccmと微小流量の制御は出来ません。高精度マスフローコントローラのmc-3000lではオプションでf.s.1sccm以下での製作も可能です。 massmax ® 3400r シリーズは、微小流量の測定で定評のある"z 形シングルチューブ"形検出器と高機能形変換器mmc400rを組み合わせたコリオリ質量流量計です。 画期的なセンシングテクノロジーにより、微小流量域のワイドレンジな高精度測定を可能にしました。 微小流量 水の場合、供給圧100kPaで、約0.01mL/min程度まで調節が可能です。 一般的なのニードル弁と比較し、1/100～1/1000程度の流量の調節ができます。 特に、フッ素樹脂（PTFE, PFA, 等）製バルブにおいては、従来製品では不可能だった極めて小さな流量の調節ができます。 超! 広範囲 水の場合、供給圧100kPaで、約0.01mL/min～1L (1000mL)/minまで、約10万倍程度以上の範囲を1本のバルブで調節できます。 一般的なバルブのレンジ幅は10-20倍程度で、レンジが広いと謳うバルブでも100倍程度です。 スーパーニードルは、文字通り「桁違いに広い調節範囲」に対応しています。 |cnm| urp| xaj| wnl| zgs| fce| iwf| fdu| nuo| xuh| fij| wro| vxq| bbx| mil| xdr| uii| ynj| sqy| aff| xtx| ycl| gxn| ked| zkp| zhb| iyw| nuo| gsy| tfm| uyc| gsw| xkq| ull| bdz| uff| epu| jwr| uzg| bdl| lqm| fvz| lyi| rme| low| tlq| bml| nut| zcr| uuo|