半導体 工場 危険
熊本県菊陽町にあるTSMC(JASM)の半導体工場の開所を前に、第2工場を建設することが発表された。他にもRapidusやキオクシアなど、多くの半導体工場が建設される予定だ。こうした半導体工場の建設ラッシュの背景と問題について考えてみたい。
日本に新たな半導体工場を作る動きが活発になっている。TSMC(台湾)の熊本工場をはじめ、ラピダスやJSファウンドリなどのファウンドリ(製造請負サービスに特化した半導体メーカー)が生まれ、さらに台湾のPowerchipも日本にファウンドリを設立するための準備会社をSBIホールディングスと
半導体工場は非常に近代的な工場であるが、消防法に則った消防用設備が設置してあっても、なお火災リスクは多岐に亘って存在するものと考えられる。 例えば、対象としたある半導体工場では、消防法に則った消防用設備(自動火災報知設備、FM200ガス消火設備、粉末消火設備、屋内消火栓、各種消火器等) を設置していたにもかかわらず、過去に火災が発生した時に有効な消火活動ができなかったという経験をしている。 工場内の問題として、次のような点があげられる。 1工場内では生産工程に欠かせない危険な可燃性溶剤のトルエンとエキネンを使用している。 2作業員がトルエンとエキネンを容器に投入する作業や通路を運搬するという人的作業がある。
半導体業界での材料開発サイクルは、基礎的な研究、有害性とリスクの評価、製造装置での試行や組み込み( 新しい製造装置を開発することもある)、及び生産などにより、通常で10-15 年かかる。 更に、化学物質の使用を禁止する場合は、必須用途と代替品入手のための適切な適用除外が規定されるべきである。 効率的でタイムリーな化学物質のレビューと承認プロセスの確保 半導体業界の材料開発サイクルは、 通常10-15年である。 この全体的な開発プロセスを可能とする鍵は、新規化学物質や新規用途に対する効率的でタイムリーな承認プロセスである。 業務上の機密情報を尊重したバランスのとれた情報開示 半導体業界の継続的なイノベーションは、化学物資の特殊な使用方法に依存している。
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