ファイン グラファイト
グラファイトの優れた特性を維持しつつ、蒸着炭素質膜が持つ高純度性・気密性等の特長を付加したパイロカーブは、半導体など単結晶引き上げ装置に利用されています。また、接着技術によって、5mを超える大型部材や複雑形状部材の供給も実現しています。
概要 半導体単結晶引上げ用の各部材において、イビデンは特徴のある技術 (パイロカーブ,接着)を保有しており、各部材に適した素材を提案いたします。 特徴 機能 低放出ガス特性や高純度性、高耐久性など優れた特性を持ち、特にシリコンウェハーの製造工程において、品質の向上に貢献します。 関連技術へのリンク パイロカーブ 高純度 接着
IBIDEN has been producing Isostatic graphite which meets customer demand in various application and industry. Property Data | IBIDEN Fine Graphite Material IBIDEN provides fine graphite materials to meet the diverse needs of the industries.
IBIDEN Graphiteの特徴 様々な特徴ある新素材 半導体製造用、キャスティング炉用、放電加工用、ガラス治具用といった幅広い分野で、多種多様な使われ方をされる黒鉛に対して、新技術を駆使したイビデン独自の製造プロセスにより、各分野に特化した、これまでにない特性・サイズを有する新素材をラインナップしております。 u000b 高純度へのこだわり 弊社では新素材を含めた全素材の原料に、厳選された高純度で高品質なコークス、ピッチを100%採用しているため、製造設備への汚染も少なく、高純度な黒鉛製造を実現しております。 u000b 最新鋭工場IGKからの供給体制u000b
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