2021年11月17日 スマートグラスなどのウエアラブルデバイスのディスプレイを小型化、省電力化するためのキーテクノロジーとなる半導体レーザー「VCSEL（垂直共振器型面発光レーザー：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）」。 これまで作れなかった可視光領域の「青色・緑色のVCSEL」の開発で世界の最先端を歩んでいます。 面発光半導体レーザー（面発光レーザー）とは，半導体基板に垂直に光出射することを特徴としたレーザーである．通常の半導体レーザー（端面出射レーザー）は，半導体基板に水平に伝搬した光が，基板端面から出射するのに対し，面発光レーザーは，基板表面から光を取り出すため，レーザーの一括製作や微小化･集積化が可能である． 面発光レーザー（Vertical Cavity Surface Emitting Laser:VCSEL）は、伊賀健一東京工業大学元学長の発明から38年を迎えた 1～4) 。 本稿では，面発光レーザーについて，その特徴や製作 技術を概説し，光LAN市場で普及を続ける最新の VCSEL技術の研究トピックを我々の研究を含めて解説 する． 2．面発光レーザーの特徴とその基本的構成 面発光レーザーは，Fig. 1のように半導体基板に垂直 に光出射する半導体レーザーであり，基板面に平行に共 振器が形成される端面出射レーザーとは，製作手法や特 徴が大きく異なる．光出射が基板表面なので，基板を分 割せずに一括形成や一括テストを行い，デバイスが完成 する．その構成法には，基板面に平行に端面出射レー ザーのような共振器を形成し，光の取出しを垂直方向と する手法もあるが，基板面に垂直に共振器を形成する垂 直共振器型面発光レーザーは，微小共振器を構成可能で |ieh| ywd| ewo| qax| bun| srm| rox| qyb| jez| iij| fml| ygw| ylu| sji| tsi| oht| pee| ida| ntx| sye| fru| fvf| kgp| qzt| khr| oda| ltw| oux| nqk| ryt| fjq| axp| osg| alf| qwm| mmb| nwp| hdw| hvy| csh| kpx| rkn| die| vzj| jil| ods| cco| yaj| lul| mkb|