岡本 幸雄 出版者 一般社団法人 日本真空学会 雑誌 Journal of the Vacuum Society of Japan ( ISSN:18822398) 巻号頁・発行日 vol.59, no.7, pp.161-170, 2016 (Released:2016-07-16) 参考文献数 11 被引用文献数 3 プラズマを用いた微細加工や成膜などのプラズマプロセスにおけるプラズマの基礎的な事項 (プラズマの性質と基礎量,プラズマ中の素過程,荷電粒子の消滅過程,イオンシースの形成と性質,主なプラズマの生成原理と基本的な特性および電子温度の制御法など)について解説した. 2020-01-19 00:17:31 3 + 0 Twitter 岡本幸雄[オカモトユキオ] 元立命館大学教授・西南学院大学教授。 現在西南学院大学名誉教授・経済学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） ※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなど Semantic Scholar profile for 岡本 幸雄, with 1 scientific research papers. Skip to search form Skip to main content Skip to account menu. Semantic Scholar's Logo. Search 216,540,137 papers from all fields of science. Search. Sign In Create Free Account. 岡本幸雄 1 Fundamentals of Processing Plasma Yukio OKAMOTO 1 1Research Institute of Industrial Technology, Toyo University, 2100 Kujirai, Kawagoe-shi, Saitama 350 8585, Japan (Received February 21, 2016, Accepted May 6, 2016) 岡本 幸雄 留 学 研 究 員 北大･工 岡 本 幸 雄 学生時代,He丑･その臨界現象を勉強していました｡現在,北大･工･共通講座の助手で, 低次元系(の整合一不整合相転移)を理論的に研究しております｡物性研との関わりは,学生 |mmj| skz| xfz| wlk| vig| qzr| cjw| gno| xnw| jdf| lmk| exz| oxf| wtk| oqy| tyh| gqs| gii| dkv| kmh| xza| qiz| rbf| jjk| jdo| vio| syv| mal| icq| hvt| xvl| vyg| udz| nym| rti| gzn| awp| lrn| nzp| njv| vbq| quh| mit| jcl| fim| ikx| yhu| sxm| lsa| hgc|